微波消解由于溫度過高產生的泄壓會損壞內罐，使內罐杯口變形。產生這種情況的原因有：
1、內罐罐口或者蓋子受到污染，吸收微波。
在消解過程中，傳感器監測的溫度是溶液溫度，并不能監測罐口溫度，如果出現這種情況，罐口溫度將超過程序設定溫度，有可能達到260度以上，這時內罐罐口和蓋子都會軟化，耐壓將大大降低，從而出現泄壓。為了避免出現這種情況，應當定期檢查內罐和蓋子是否吸收微波。方法如下：
將所用空消解罐放在腔體中，同時放入一裝有20ml左右水的50ml的玻璃燒杯，運行下列程序：
1分鐘1000W(10個容器)，不接傳感器。或
1分鐘600W(少于6個容器)，不接傳感器。
在程序完成后，馬上檢查各消解罐的溫度，注意可能燙手。如果你感覺某消解罐溫度異常高（>50℃）時，則需要清洗該消解罐，溫度較低（微熱）的消解罐，可以不要進行清洗。
同樣對消解罐蓋、保護套等進行上述檢查。
2、陶瓷管斷。
陶瓷管斷了以后，如果繼續作樣，主控罐將保持不了壓力而導致溫度保持不住，這時儀器會認為功率不夠而加大功率，其它消解罐將會出現溫度失控而泄壓。
3、消解罐在腔體內擺放不均勻。
微波消解儀微波在腔體內是均勻分布的，但是微波有一定的穿透厚度，如果出現主控罐周圍有兩個消解罐包圍的話，腔體本身有六個反射面，有兩個反射面過來的微波被它周圍的兩個消解罐吸收了，主控罐吸收微波的功率就降低了1/3。比如同時消解5個樣品，如果主控罐周圍放了兩個樣品，對面散布了兩個樣品，這樣主控罐吸收微波的效率就降低很多，會導致其它消解罐溫度超過主控罐溫度，一旦溫度壓力達到極限，就會出現泄壓。
4、消解罐內溶劑不一致。
因為每種酸、每種溶劑對微波的吸收效率不一樣，在同樣條件下，有的溶劑吸收微波的效率很高，導致在消解過程中跟主控罐溫度不一致，如果高于主控罐，就會產生泄壓。比如主控用的是硝酸，空白里面有一個蒸餾水，這樣，蒸餾水吸收微波的效率就很高，在同樣的條件下，主控可能在170度的時候，蒸餾水的溫度就已經超過260度了。
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